1. Чистота
Чистота мишени для распыления должна быть не менее 99,95%. Чем выше чистота, тем лучше характеристики напыленной пленки.
2. Плотность
Относительная плотность мишени для распыления должна быть более 98 процентов. Мишень с более высокой плотностью может уменьшить разбрызгивание частиц пленки в процессе нанесения покрытия, тем самым улучшая качество пленки.
3. Зерновая структура
Молибден мишень для распыления представляет собой поликристаллическую структуру. При распылении атомы мишени легко выбрасываются вдоль наиболее близко расположенного направления гексагональных атомов. Для достижения максимальной скорости распыления необходимо увеличить скорость распыления за счет изменения кристаллической структуры мишени.
4. Размер зерна
Размер зерна может варьироваться от микрона до миллиметра. Скорость распыления мишени с мелким зерном выше, чем у мишени с крупным зерном, а распределение толщины осаждаемой пленки также относительно однородно для мишени с небольшой разницей в размерах зерен.
5. Привязка цели и шасси
Перед напылением мишень должна быть подключена к шасси из бескислородной меди, чтобы обеспечить хорошую теплопроводность между мишенью и шасси. После связывания необходимо провести ультразвуковой контроль, чтобы убедиться, что несвязывающая площадь двух процентов составляет менее 2 процентов, чтобы соответствовать требованиям мощного напыления.
